第226章 粤州硅片厂 (第2/2页)
将低纯硅与氯化氢（HCl）反应生成三氯硅烷（SiHCl?），然后通过蒸馏和化学气相沉积（CVD）将三氯硅烷还原为高纯度多晶硅。
纯度达到99.9999%�
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将低纯硅与氯化氢（HCl）反应生成三氯硅烷（SiHCl?），然后通过蒸馏和化学气相沉积（CVD）将三氯硅烷还原为高纯度多晶硅。
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